项目库介绍
海拓创新公司是国内第一家实现静电卡盘及辅助执行系统国产化制造的公司，目前也是唯一个以静电卡盘技术为营收支撑生存和发展的公司。自2013年始深耕于静电卡盘技术研发和应用拓展，凭借自身的技术积累、研发、系统集成以及方案解决能力，并于2015年实现以静电卡盘为核心业务带动企业发展模式。截止2019年，海拓创新公司已经完成了4寸至12寸半导体FAB静电卡盘交付实绩，率先实现了半导体关键零部件-静电卡盘技术卡脖子局面的零突破，尤其是在第三代化合物半导体方面，海拓创新自主设计的静电卡盘系统已实现规模化交付。
